la limite de diffraction de la technologie de la lithographie optique
Laser fabrication de micro-nano est appelé à devenir l'un des plus grand potentiel de transformation de la technologie
centre récente high-tech, selon les projets nationaux mous de recherche scientifique, «Les tendances mondiales étude de haute technologie de suivi," les exigences de la mission, l'organisation de l'information, des matériaux, de l'énergie, la fabrication de pointe, le transport et la recherche fondamentale dans des domaines tels en tant que spécialistes de programme de 863 973 groupe, ainsi que les universités, instituts de recherche et entreprises ont totalisé plus de 230 experts, en utilisant la méthode de l'analyse bibliométrique et qualitative, à travers le plan de la science et de la technologie pertinente pour les zones pertinentes de l'Etat et avec des entreprises de pointe stylo laser pas cher, la planification, l'évolution et la planification stratégique dans l'ordre, ainsi que des informations statistiques sur la littérature académique sur les revues de référence connexes et des conférences universitaires internationales sur l'analyse des différentes régions du total actuel de 61 frontière dix hotspots.
Après condensés en outre, ils ont proposé des modifications aux dix technologies actuelles les plus prometteuses de la frontière, à savoir: les matériaux à base de carbone, de nanomatériaux de semi-conducteurs, brisant la limite de diffraction de la technologie de la lithographie optique, laser micro-nano fabrication, la technologie à puce intégré optoélectronique, après Moore ère du design en trois dimensions interconnecté et intégré puce, l'intégration, le moment angulaire orbital de silicium TIC carbure puissance de la technologie de l'électronique, visée laser des technologies de la communication quantique et de la communication classique et omniprésente de la perception et de la technologie de contrôle entièrement distribué.
Laser fabrication de micro-nano est une partie importante de la technologie de fabrication de micro-nano. Laser micro-nano fabrication par l'interaction laser-matière, changement de l'état physique et de la nature de la matière, pour atteindre micron à nano-échelle ou la forme de commande en croix échelle et la contrôlabilité. Parce que la fabrication de micro-nano de densité d'énergie laser de reglage, le rôle des échelles spatiales et temporelles, le corps de la fabrication peut absorber l'énergie d'une manière contrôlée sont extrêmes, les effets physiques de quitter le processus de fabrication utilisé par le mécanisme d'action est complètement différent de la traditionnelle fabrication, qui capacité et la production de la qualité des structures complexes est beaucoup plus élevé que la fabrication traditionnelle, résultant ainsi en un certain nombre de nouvelles technologies (comme la lithographie, en champ proche nano-fabrication, la transformation induite par des interférences, micro-soudage, etc.), un nombre de nouveaux produits (tels que LSI, MEMS / NEMS, etc.), un groupe de produits de haute performance (tels que les moteurs d'avions, des turbines à gaz, les piles solaires, etc.) et les industries de haute technologie correspondant.
Laser fabrication de micro-nano impliquant optique, physique, matériaux, chimie, biologie, d'information et de contrôle, mécanique, nanotechnologie et d'autres sujets, va promouvoir le développement de la fabrication et des disciplines connexes.
